Wafer業界
Wafer業界
光学技術
【光の散乱を利用した撮像技術】 ➡クラック検査等で利用
Wafer上の「クラック/ディンプル」を見える化！！
【光学・画像処理技術】➡Wafer表裏面検査
梨地でも、欠陥検出が可能！！
【光学・画像処理技術】➡Wafer表裏面検査
鏡面でもキズ検出が可能！！
【光学・画像処理技術】➡Wafer外周検査（測定）
いろいろな形状に対応可能。
【光学・画像処理技術】➡Waferエッジ形状測定
スピンドライヤーWafer監視技術
【AE＋回路】 ➡スピンドライヤーWafer監視
スピンドライヤ処理中のシリコンWafer破損を監視します。
