「第3回九州半導体産業展」への出展のご案内

2026年9月 2026年9月

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平素は格別のお引き立てをいただき厚く御礼申し上げます。

さて、下記の通り第3回目の九州半導体産業展が開催されます。

弊社ではウェハの様々な検査装置の製造販売をしておりますが、今回はエッジとノッチの展示
に特化し、昨年の弊社出展内容に追加してノッチ検査ユニットも出展いたします。
前回に引き続き、今回も活況な展示会となると思われまので、皆様お誘いあわせの上、多数の
ご来場を心よりお待ち申し上げます。

■開催日時

　2026年9月30日（水）～10月1日（木）　10:00～17:00

■場所

　マリンメッセ福岡A館　A7-18

■昭和電気研究所の出展品目

1．ウェハエッジ・ノッチ形状精密測定装置（AF方式）

・中央精機様のAF方式を採用。
・エッジ（平面端部～上ベベル～APEX～下ベベル～裏面端部）の高速、超高精度測定装置。
・鏡面のベベルの急斜面も測定可能。
・ノッチ部分の断面形状測定も可能。

2．ウェハエッジ・ノッチ形状測定装置（シルエット方式）

・ウェハのエッジのシルエットを映し出し、高精度測定。
・簡易型。ハイコストパフォーマンスタイプ。

3．ウェハエッジ撮像装置

・ウェハのエッジを死角無く鮮明に映し、検査します。
・ノッチの全面検査（APEXも含む）も可能。（別途ノッチ検査ユニットが必要）

4．ノッチ検査装置

・ウェハのノッチを死角無く鮮明に映し、検査します。
・ノッチの側面（APEX）部分も鮮明に撮像。
・明視野で5μ、暗視野で1μの欠陥を検出します。

※ご来場の際には、下記展示会サイトより来場事前登録を行い、来場者バッジを予め印刷
してお持ちいただく必要があります。